KULLANIM VE ÇALIŞTIRMA KILAVUZU
Doküman No: KK-SC-2026-01
Eraktek SPIN 10X Vakumlu Spin Coater (Döner Kaplama Cihazı); ince film kaplama, malzeme sentezi, fotolitografi ve Ar-Ge laboratuvarlarında numunelerin yüzeyine hassas katman kaplaması uygulamak için tasarlanmış, 10.000 RPM kapalı çevrim PID hız kontrollü, 7" renkli dokunmatik ekranlı ve vakum emniyet kilitli yerli otomasyon sistemidir.
1. Güvenlik ve İlk Hazırlık
- Kapak Emniyeti: Cihaz çalışırken şeffaf koruma kapağı daima kapalı konumda olmalıdır. Kapak açıkken motor güvenlik nedeniyle kesinlikle çalışmaz.
- Vakum Sabitleme: Numune (Substrate) vakumlu altlık (Vacuum Chuck / Rotor) merkezine yerleştirildikten sonra vakum hattı aktif edilmelidir. Vacuum chuck başlığında numuneyi tutan vakum seviyesi yeterli olmadan motor başlatılamaz.
- Besleme Bağlantısı: Cihaz 220V AC topraklamalı priz üzerinden beslenmelidir.
- Cihaz Boyutları ve Konumlandırma: Cihaz 26 x 44 x 28 cm ölçülerinde olup, çeker ocak veya titreşimsiz düz bir laboratuvar tezgahı üzerinde çalıştırılmalıdır.
2. Dokunmatik Ekran Arayüz Sayfaları (7" Renkli HMI Ekran)
Sayfa 1: Process (Ana Çalışma & Canlı Grafik Ekranı)
Canlı Gerçek Devir (Yeşil), Hedef Devir (Mavi), İvmelenme (Kırmızı), Kalan Adım Süresi, Toplam Kalan Süre, Kapak/Vakum durum göstergeleri ve canlı hız-zaman grafiği izleme ekranı.
Sayfa 2: Quick Start (Hızlı Manuel Parametre Giriş Ekranı)
Reçetesiz hızlı testler için 1.000 - 10.000 RPM Hedef Hız (100 RPM çözünürlük), 100 - 4.000 RPM/s İvme Rampası ve 1-999 sn Kaplama Süresi hazır preset butonları (2000, 3000, 4000, 5000, 6000, 7000 RPM) ile tek tuşla başlatma ekranı.
Sayfa 3: Recipe (Reçete & Adım İsimlendirme, Parametre Yönetimi & Flash Hafıza Kaydı)
20 Farklı reçete ve her reçetede 10 adıma kadar Devir, Rampa, Süre ve Döngü parametrelerini düzenleme, hem ana reçete hem de alt adımlara özel kullanıcı tanımlı isimlendirme ve STM32 dahili Flash hafızasına kalıcı kaydetme ekranı.
📝 Reçete ve Adım İsimlerini Düzenleme Prosedürü:
1. Ana Reçete İsmini Değiştirme:
- Üst kısımdaki 📁 Reçete: açılır menüsünden düzenlemek istediğiniz reçeteyi seçiniz.
- Reçete adının hemen sağındaki "Düzenle" butonuna dokununuz.
- Sanal klavyeden yeni reçete adını (Örn: Perovskit_1, FotoRezist_SU8 vb.) girip onaylayınız. Ekranda anlık olarak "Isim Guncellendi" görsel geri bildirimi belirecektir.
2. Reçete Alt Adım İsmini Değiştirme (Adım Yönetimi):
- Reçete Adım Yönetimi bölümündeki Reçete Adımı: açılır kutusundan adını değiştirmek istediğiniz adımı seçiniz.
- Adım Yönetimi alanındaki "Düzenle" butonuna dokununuz.
- Açılan dokunmatik sanal klavye ile adıma prosese uygun fonksiyonel bir isim veriniz (Örn: "Damlama", "Yayılma / Spread", "İnceltme / Spin-Off", "Kurutma / Dry" vb.).
- Giriş onaylandığında ekranda anlık olarak "Isim Guncellendi" geri bildirimi oluşur. Böylece proses çalışırken hangi aşamanın devrede olduğu isimle canlı takip edilebilir.
3. Adım Parametreleri & Kalıcı Kayıt (💾 Kaydet Butonu):
- + Adım Ekle veya Adımı Sil butonları ile adımları yönetebilir; her adım için Devir (RPM), Rampa (RPM/s), Süre (s) ve Döngü (Loop) değerlerini girebilirsiniz.
- Tüm düzenlemelerin ardından üst kısımdaki "Kaydet" butonuna basınız. Reçete ve tüm adımları STM32 dahili Flash belleğe kalıcı olarak işlenir; cihaz kapatılsa dahi tüm isim ve parametreler korunur.
| Ekran Sayfası | Görüntülenen Parametreler | Fonksiyon ve Kullanımı |
|---|---|---|
| Sayfa 1 (Ana Sayfa) | Hedef Devir, Gerçek Devir, Kalan Süre, Kapak & Vakum Durumu, Canlı Dalga Grafiği | Reçete seçimi yapılır, deney başlatılır/durdurulur ve anlık devir-zaman grafiği canlı çizilir. |
| Sayfa 2 (Manuel Mod) | Hedef Devir (RPM), İvme Rampası (RPM/s), Kaplama Süresi (s), Gerçek Devir (RPM) | Hızlı testler için reçetesiz tek tuşla Manuel Hız, İvme ve Süre ayarlayıp çalıştırma ekranı. |
| Sayfa 3 (Reçete Düzenleme) | 20 Reçete Depolama, Reçete & Adım İsimlendirme, 10 Adım Programlama, Devir, İvme, Süre, Döngü | Reçeteleri ve her alt adımı özel isimlerle adlandırma ("Isim Guncellendi" geri bildirimi), adım parametrelerini güncelleme, adım ekleme/silme ve kalıcı Flash kaydı yapma ekranı. |
3. Adım Adım Çalıştırma ve Kaplama Prosedürü
1 Cihazı Açma & Başlangıç Kontrolü: Güç kablosunu bağlayıp cihaz anahtarını AÇIK konuma getiriniz. Dokunmatik ekran açılacak ve hafızadaki en son seçili reçeteyi otomatik yükleyecektir.
2 Numuneyi Yerleştirme & Vakumu Aktif Etme: Şeffaf koruma kapağını kaldırıp kaplanacak numuneyi vacuum chuck üzerine ortalayarak yerleştiriniz. Vakum pompasını çalıştırınız ve ekranda Vakum durumunun "Yeterli" olduğunu doğrulayınız.
3 Emniyet Kapağını Kapatma: Koruma kapağını indiriniz. Ekranda Kapak durumunun "Kapalı" olduğu doğrulanmalıdır.
4 Reçete veya Manuel Mod Seçimi:
- Reçeteli Mod (Sayfa 1): Reçete listesinden seçim yapınız (Örn: Reçete 01).
- Manuel Mod (Sayfa 2): Hedef Devir (RPM), İvme (RPM/sn) ve Süre (sn) giriniz.
5 Deneyi Başlatma (START): Ekranda BAŞLAT butonuna basınız. Motor ivmeli olarak hedef devire tırmanacak, anlık devir-zaman grafiğini grafik ekranına çizecek ve kalan süreleri geriye sayacaktır.
6 Deneyin Tamamlanması: Reçete süresi dolduğunda motor yumuşakça yavaşlayarak durur. Ekranda "Deney Tamamlandı!" uyarısı görüldüğünde kapağı açıp kaplanmış numuneyi güvenle alabilirsiniz.
⚠️ Önemli Güvenlik Notu: Çalışma esnasında kapak açılırsa veya vakum seviyesi düşerse cihaz derhal acil durdurma moduna geçer ("HATA: Kapak Açık!" veya "HATA: Vakum Yetersiz!") ve motoru ivmeli yavaşlatarak durdurur.
4. Sorun Giderme Rehberi
- Motor Başlamıyor: Ekranda Kapak durumunun "Kapalı" ve Vakum durumunun "Yeterli" olduğundan emin olunuz.
- Vakum Tutmuyor: Vakum contasının temizliğini ve vacuum chuck vakum deliğinin tıkanmadığını kontrol ediniz.
- Reçeteler Kaydolmuyor: Parametre değişikliklerinden sonra ekrandaki KAYDET butonuna basarak Flash yazımını onaylayınız.